極薄 単結晶LiNbO3, LiTaO3 ウエーハ
10-60μmという極薄の単結晶LiNbO3, LiTaO3 は石英で直径3,4インチのウエーハ
を提供させて頂きます。
応用：
・光通信機器用デバイス ･医療分野機器用デバイス ・一般産業用デバイス ・その他
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トップ機能層
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直径
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3, 4インチ
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方位
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X,Y,Z 等
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材料
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LiNbO3, LiTaO3
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厚さ
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１0-60μm
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面
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片面 又は 両面研磨
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構造
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LiNbO3ウエーハ
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単結晶LNウエーハ
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LiTaO3ウエーハ
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単結晶LTウエーハ
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LNウエーハ
LTウエーハ
単結晶LiNbO3薄膜
単結晶LiTaO3薄膜
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シリコン基板上5-50μm -LN,-LT,-石英
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トップ機能層
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直径
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3, 4, 6 インチ
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方位
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X,Z, Y-42, Y-46.3 等
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材料
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LiNbO3(LN), LiTaO3(LT)
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厚さ
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5-50μm
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基板
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材料
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Si
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厚さ
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230-500μm
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構造
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デバイス-LN
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単結晶ＬN薄膜/ Si基板
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デバイス-LT
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単結晶ＬＴ薄膜/ Si基板
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デバイス-LT
デバイス-LN
単結晶LiNbO3薄膜/Si基板
単結晶LiTaO3薄膜/Si基板
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お客様仕様 LiNbO3薄膜, LiTaO3薄膜 & 石英薄膜
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上層/詳細
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基板詳細
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上層薄膜詳細
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多層構造
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パターン電極
& 導波路 |
材料各種
(SiO2/Si, サファイヤ石英等) |
PPLN
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特殊サイズ
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電極
(Au,Pt, Cr, Al 等) |
結晶軸方位
(バルク ウエーハ) |
ドープ
(MgO, Fe, Er, Tm 等) |
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100-1000nm
LiNbO3 |
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100-1500nm
LiTaO3 |
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5-50um
LiNbO3 |
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5-50um
LiTaO3 |
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