LiTaO3 (Lithium Tantalate)
タンタル酸リチウム単結晶は光学特性、非線形特性、電気光学特性に優れている
ことからE-Oデバイスに広く用いられております。
・SAW・BAWデバイス
・圧電センサー(PET)
・圧電変換器(PES)
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結晶構造 |
三方晶系 |
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点群 / 空間群 |
3m / R3c |
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格子定数、Å |
a=5.154 c =13.781 |
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密度, g/cm3 |
7.46 |
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融点, ℃ |
1650 |
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キュリー温度, ℃ |
607 |
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モース硬度, mohs |
5.5 |
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誘電率 |
ε11/ε0 = 51.7、ε33/ε0 = 44.5 |
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弾性スティフネス定数, x1011N/m2 |
CE11 = 2.33、CE33 = 2.77 |
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圧電歪み係数, x10-11C/N |
d 22 = 2.4、d33 = 0.8 |
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面方位 |
表面波速度 |
電気機械結合係数 |
速度温度係数 |
延滞時間温度係数 |
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X-112°Y |
3295 |
0.75 |
-16.5 |
22.3 |
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Y-Z |
3230 |
0.66 |
35 |
標準サイズ:
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仕様
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インゴット
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ウェハー
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直径 |
φ3" |
φ4" |
φ3" |
φ4"
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長さ又は厚さ |
≦ 100 mm |
- |
0.35 - 0.5 mm |
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面方位 |
127.86°Y、64°Y、X、Ｙ、Z 並びにその他のカット |
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オリフラ |
X、Ｙ |
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| オリフラ長 |
22±2mm
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2mm
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22±2mm
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32±2mm
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| 表面研磨 |
-
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-
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鏡面研磨 5 - 15Å
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| 裏面ラッピング |
-
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-
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0.3 - 1.0 μｍ
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| 平坦度 |
-
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-
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≦ 15 μｍ
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| ボウ(Bow) |
-
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-
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≦ 25 μｍ
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医療分野等で広く活用されております。
⇒薄膜LN;
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300-900nm 薄膜LiTaO3
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トップ機能層
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直径トップ機能層
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3, 4, 6インチ
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方位
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Y-42, Y-46.3, Z etc.
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材料
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LiTaO3
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厚さ
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300-900nm
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分離層
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材料
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SiO2
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厚さ
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300-4000nm
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基板
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材料
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Si
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厚さ
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400-500μm
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デバイスLT
