Langanite

LiTaO3 (Lithium Tantalate)

タンタル酸リチウム単結晶は光学特性、非線形特性、電気光学特性に優れている
ことからE-Oデバイスに広く用いられております。

・SAW・BAWデバイス 
・圧電センサー(PET) 
・圧電変換器(PES)

特性

結晶構造

三方晶系

点群 / 空間群

3m / R3c

格子定数、Å

a=5.154 c =13.781

密度, g/cm3

7.46

融点, ℃

1650

キュリー温度, ℃

607

モース硬度, mohs

5.5

誘電率

ε110 = 51.7、ε330 = 44.5

弾性スティフネス定数, x1011N/m2

CE11 = 2.33、CE33 = 2.77

圧電歪み係数, x10-11C/N

d 22 = 2.4、d33 = 0.8

SAW 特性:

面方位

表面波速度
Vs (m/s)

電気機械結合係数
K2s (%)

速度温度係数
TCV(ppm/℃)

延滞時間温度係数
TCD(10-6 /℃)

X-112°Y

3295

0.75

-16.5

22.3

Y-Z

3230

0.66

35

標準サイズ:
仕様
インゴット
ウェハー

直径

φ3"

φ4"

φ3"

φ4"

長さ又は厚さ

≦ 100 mm

-

0.35 - 0.5 mm

面方位

127.86°Y、64°Y、X、Y、Z 並びにその他のカット

オリフラ

X、Y

オリフラ長
22±2mm
2mm
22±2mm
32±2mm
表面研磨
-
-
鏡面研磨 5 - 15Å
裏面ラッピング
-
-
0.3 - 1.0 μm
平坦度
-
-
≦ 15 μm
ボウ(Bow)
-
-
≦ 25 μm
Lithium Tantalate Thin Film(薄膜LT): LT=単結晶
当デバイス薄膜LNは通信機器、一般産業、消耗品そして
医療分野等で広く活用されております。
その他薄膜デバイス
薄膜LN; 薄膜D.on Si
300-900um 薄膜LiTaO3
トップ機能層
直径トップ機能層
3, 4, (6) インチ
方位
XYZ
材料
LiNbO3
厚さ
300-900μm
分離層
材料
SiO2
厚さ
1000-4000nm
基板
材料
Si,LN,石英,溶融石英
厚さ
400-500μm
電極層
(オプション)
材料
Pt, Au, Cr
厚さ
100-400nm
構造
上部又は下部にSiO2絶縁層
構造
デバイスLT
薄膜LiTaO3/ SiO2/ 基板:Si
デバイスLT

お問い合わせ 株式会社ネオトロン