LiNbO3 (Lithium Niobate)
ニオブ酸リチウム単結晶はE-O係数やA-O係数が大きいため、ポッケルスセル
やQスイッチ、位相変調器、導波路基板、表面弾性波（SAW）ウエハーなどに
用いられている材料です。ウエハー、アズカットボールなどお客様のご希望に
あわせカット致します。
応用：
・SAW・BAWデバイス ・圧電センサー(PET) ・圧電変換器(PES)
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結晶構造 |
三方晶系 |
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点群 / 空間群 |
3m / R3c |
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格子定数、Å |
a=5.148 c =13.863 |
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密度, g/cm3 |
4.64 |
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融点, ℃ |
1250 |
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キュリー温度, ℃ |
1160 |
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モース硬度, mohs |
5 |
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誘電率 |
ε11/ε0 = 85、ε33/ε0 = 29.5 |
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弾性スティフネス定数, x1011N/m2 |
CE11 = 2.04、CE33 = 2.46 |
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圧電歪み係数, x10-11C/N |
d 22 = 2.04、d33 = 19.22 |
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面方位 |
表面波速度 |
電気機械結合係数 |
速度温度係数 |
延滞時間温度係数 |
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127.86°Y-X |
3970 |
5.5 |
-60 |
78 |
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X-Y |
3485 |
4.3 |
-85 |
95 |
標準サイズ:
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仕様
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インゴット
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ウェハ-: (注)
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直径 |
φ3" |
φ4" |
φ3" |
φ4"
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長さ又は厚さ |
< 300 mm |
< 150 mm |
0.35 - 0.5 mm |
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面方位 |
127.86°Y、64°Y、1345°Y、Ｘ、Y、Z 並びにその他カットに対応 |
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オリフラ |
X、Y |
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| オリフラ長 |
22±2mm
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32±2mm
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22±2mm
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32±2mm
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| 表面研磨 |
-
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-
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鏡面研磨 5-15Å
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| 裏面ラッピング |
-
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-
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0.3 - 1.0μm
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| 平坦度 |
-
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-
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≦ 15
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| ボウ/Bow |
-
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-
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≦ 25
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等で広く活用されております。
⇒薄膜LT; 薄膜D.on Si
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300-900nm 薄膜LiNbO3
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トップ機能層
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直径
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3, 4, (6) インチ
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方位
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XYZ
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材料
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LiNbO3
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厚さ
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300-900nm
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ドープ(オプション)
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MgO
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分離層
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材料
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SiO2
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厚さ
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1000-4000nm
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基板
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材料
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Si,LN,石英,溶融石英
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厚さ
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400-500μm
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電極層
(オプション) |
材料
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Pt, Au, Cr
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厚さ
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100-400nm
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構造
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上部又は下部にSiO2絶縁層
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構造
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デバイス-1
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薄膜LN/ SiO2/ 基板:LN,Si,石英又は溶融石英
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デバイス-2
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薄膜LN/ 電極/ SiO2/ 基板:LN
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デバイス-3
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薄膜LN/ SiO2/ 電極/ 基板:LN
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デバイス-4
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MgOドープ薄膜LN/ SiO2/ MgOドープLN基板
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