FeO
CaO
Cr2O3
MnO
NiO
 
Fe2O4
CoO
 

MgAl2O4 (Spinel)
スピネル単結晶

在庫一覧表
スピネル単結晶はマイクロ波デバイスやバルク弾性波(Bulk Acoustic Wave)デバイス、また高速IC用のエピタキシャル基板
など様々なところで利用されている。

特性:

結晶構造

立方晶系

格子定数、Å

a=8.083

成長方法

Czochralski

密度, g/cm3

3.64

融点, ℃

2130

モース硬度

8

熱膨張係数, 10-6/ oC

7.45

音速

6500 m/s at (100) shear wave

音速 (SAW), m/sec

2400

伝搬損失

6.5 dB/ms at (100) Shear wave,9GHz

成長方向

<001>, <110>

標準仕様:
a:インゴット:

サイズ

φ35 mm ± 2 mm

厚み

60 mm

面方位

<001>, <110>

b:ウェハー

サイズ

φ35 mm ± 2 mm

厚み

0.2-1.0 mm

面方位

<001>, <110> ≦15

研磨

0.25 - 0.016 μm

平面度

≦15μm

BOW

≦15μm


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