LiTaO3
LiTaO3結晶もまた広く使用されているE-O結晶で、化学的には非線形光学とE-Oの特性はLiNbO3に似ていますが、高いダメージ閾値を持っております。
LiTaO3の構成と物理特性値
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結 晶 構 造 |
三方晶(Trigonal),スペースグループR3C,ポイントグループ3m |
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セルパラメータ |
a＝5.154Å,ｃ=13.781Å |
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融 点 |
1650℃ |
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キュリー温度 |
607℃ |
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モース硬度 |
5.5 |
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密 度 |
7.46g/cm3
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誘 電 体 定 数 |
ε11/ε0 51.7, ε33/ε0 44.5 |
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弾性硬化係数 |
CE112.33(X1011N/m2), CE332.77(X1011N/m2) |
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ピエゾ電気歪み定数 |
d222.4(X10-11C/N), d330.8(X10-11C/N) |
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透 過 波 長 |
400〜4500nm |
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E-O 係数 |
γ33=30.4pm/V |
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632.8nmでの反射係数 |
no=2.176,ne=2.180 |
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標準SAW特性
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カットタイプ |
vs(m/s) |
κ2s(％) |
TCV(10-6/℃) |
TCD(10-6/℃) |
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X-112°Y |
3295 |
0.75 |
-16.5 |
22.3 |
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Y-Z |
3230 |
0.66 |
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35 |
仕様
a:ボウル
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直 径 (mm)（標準） |
φ50±2 |
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長 さ (mm) （標準） |
≦80 |
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面 方 位 （標準） |
36°Y,X,Z |
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b.：ウエハー |
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直 径 (mm) |
φ2"±2 |
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厚 さ |
0.2〜0.5mm |
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面 方 位 |
36°Y,X,Z |
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平面に対しての方位 |
X |
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平面に対しての広さ |
16±2 |
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正 面 研 磨 |
0.25〜0.016μm |
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背 面 ラッピング |
10〜15μm |
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平 面 度(μm) |
≦20 |
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Bow (μm) |
≦20 |
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